通过单极片实现0.078 nm的STEM空间分辨率和高样品倾斜度、高立体角EDX。
透射电子显微镜除了延续了日立公司配备的具有扫描透射电子显微镜“HD-2700”的球面像差校正器的功能、自动校正功能，像差校正后的SEM图像和对称Dual SDD技术等特点。还融汇了透射电子显微镜HF系列中所积累的技术。
对于包括高端用户在内的广泛用户，我们提供亚Å级空间分辨率和高分析性能以及更多样化的观察和分析方法。

1. 标配日立生产的照射系统球差校正器（附自动校正功能）

2. 搭载具有高辉度、高稳定性的冷场FE电子枪

3. 镜体和电源等的高稳定性使机体的性能大幅度提升

4. 观察像差校正SEM/STEM图像的同时观察原子分辨率SE图像

5. 采用侧面放入样品的新型样品台结构以及样品杆

6. 支持高立体角EDX*的对称配置（对称Dual SDD*）

7. 采用全新构造的机体外壳盖

8. 配备日立生产的高性能样品杆*

操作流程

应用范围

机体尺寸/重量

安装条件

购买之前，请设置预定安装处测量振动、磁场和噪声，如果超过容许值，请务必另行咨询。
关于容许值，请另行咨询。

• 备注

• *1：选项。*2：Windows是在美国以及其他国家的注册的美国Microsoft Corp.商标。*3：规格、尺寸均根据厂家、型号和配置的不同而会有所不同。